使用多个角度光学传感器，UnitySC 的晶边检测设备能检测晶圆的

• 顶部边缘
• 顶部斜角
• APEX
• 底部斜角
• 底部边缘，以便发现颗粒、裂纹和碎片等缺陷。

通过提前发现那些可能在后续工艺过程中破片的晶圆，晶边检测可以减少工艺设备因为破片而造成的停机时间，极大地节约了运营节省。