克服大批量薄晶圆制造中的检测挑战

有人已经考虑将暗视野检测用于检测薄晶圆缺陷。基于光学技术，暗视野是指进行较低角度反射光测量。 暗视野对于晶圆前端检测是有效的，但是由于研磨造成晶圆背面粗糙，对于背面检测它是无效的。因此，晶圆背面研磨后应避免暗视野检测。

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